Films minces d'oxycarbonates préparés par ablation laser pulsé : du système monocible au système multicible^*

Oxycarbonates thin films grown by pulsed laser deposition: from a single target system to a multi-target system

¹ Laboratoire CRISMAT-ISMRA, Université de Caen, CNRS UMR 6508, Bd Maréchal Juin, 14050 Caen Cedex, France
² actuellement à CP177, Department of Physics and Astronomy, University of Kentucky, Lexington, KY 40506, USA
³ actuellement à INFM-Dipartimento di Scienze e Technologie Fisiche e Energetiche, Università di Roma "Tor Vergata", via della Ricerca Scientifica, 00133 Roma, Italy

Auteur de correspondance : films@crcrisu.ismra.fr

Reçu : 13 Juin 1997
Révisé : 26 Août 1997
Accepté : 7 Octobre 1997
15 Janvier 1998

Résumé

L'étude microstructurale des films minces supraconducteurs de formule générale : , déposés à partir d'une seule cible, a montré qu'ils sont formés de nombreuses intercroissances. Ceci les rend pratiquement inutilisables pour des caractérisations physiques fines. Dans cet article sont présentées les étapes de la mise en oeuvre du système multicible nécessaire à la croissance d'un empilement régulier.

Abstract

The microstructural study of superconductor thin films with general formula: , grown from a single target, has shown that these films exhibited numerous intergrowth phases. Such films can not be used for precise physical studies. To obtain a regular stacking along a growth direction perpendicular to the substrate a multi-target system has to be used. The preliminary results of this study are presented herein.