Microbolomètres YBaCuO suspendus sur substrats de Si ou SIMOX micro-usinés L. Méchin, D. Bloyet and J.-C. Villégier Eur. Phys. J. AP, 1 1 (1998) 129-133 Published online: 15 January 1998 DOI: 10.1051/epjap:1998126